GBW13964 氮化硅薄膜膜厚标准物质国家标准物质资源共享平台

1片单片定值，以证书值为准，订制有周期，下单请提前联系010-64526120确认。真空包装，阴凉、干燥处存放

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英文名称

Thin Film Thickness CRM of Si/Si₃N₄

标准物质证书
样本供参考

https://www.ncrm.org.cn/Repository/bf0cbf99-645d-42c5-b6a2-9761bb995ffb.pdf

标准物质证书英文
样本供参考

应用领域

仪器检定/校准用标准物质/仪器检定/校准用标准物质

保存条件

真空包装，阴凉、干燥处存放。

使用注意事项

样品开封使用应保证取样工具等洁净避免沾污。建议本标准物质开封后用于一次检定/校准活动，在确保使用后无变形、无污染时可多次使用，但其量值仅可作为期间核查。

特征形态

固态

基体

主要分析方法

定值单位

中国计量科学研究院

规格

外包装为铝箔真空袋，每包装为一片，20 mm乘以20 mm

定级证书量值信息

	标准值	不确定度	单位	CAS	备注
氮化硅薄膜膜厚	205.0	1.5	nm

链接

研制单位名称	中国计量科学研究院
研制单位地址	北京市北三环东路18号,
研制单位邮编	100029
研制负责人	高慧芳#
研制起止日期	2013年6月 - 2014年12月
被批准时间	2016-06
复制批编号
复制批准时间
复制批文号	国质检量函〔〕号
撤销日期
撤销批文号	国质检量函〔〕号
档案号
批文名称	国质检量函〔2016〕310号
批文电子版
生产许可证号	国制标物10001556号
许可证书电子版	https://www.ncrm.org.cn/upload/Crm/ProduceLicenceFile/Yuantu/20160722/093308中华人民共和国制造计量器具许可证10001556(1).jpg
定级证书号	[2016]标准物质证字（Certificate No.）1621号
定级证书电子版	https://www.ncrm.org.cn/upload/Crm/LevelCertFile/Yuantu/20160722/0933012016-1621.pdf