GBW(E)130740 八英寸晶圆级氧化铝薄膜厚度（7nm～9nm）标准物质国家标准物质资源共享平台

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英文名称

Eight inch thin film thickness（7nm~9nm）CRM of Al₃O₂

标准物质证书
样本供参考

https://www.ncrm.org.cn/Repository/1b7c0565-49d1-4b55-bf1a-2f50b1f097d9.pdf

标准物质证书英文
样本供参考

应用领域

仪器检定/校准用标准物质/仪器检定/校准用标准物质

保存条件

本标准物质可在洁净环境中常温下存放。

使用注意事项

使用环境尽量为超净室，否则将造成标准物质表面污染，且放置1个小时恢复到室温再使用，防止运输过程中的环境条件影响其几何特征量值；操作过程中不能用手直接触摸硅片，特别是硅片上扫描校准的区域，测量时必须佩戴手套，轻拿轻放，防止撞击。本标准物质开封后确保使用后无变形、无污染时在有效期内可重复使用。

特征形态

固态

基体

主要分析方法

激光椭偏仪

定值单位

中国计量科学研究院#西安交通大学

规格

1片/盒

定级证书量值信息

	标准值	不确定度（nm）	单位	CAS	备注
八英寸晶圆级氧化铝薄膜厚度	8.34	0.46	标准值（nm）	7440-21-3

链接

研制单位名称	中国计量科学研究院#西安交通大学
研制单位地址	北京市北三环东路18号
研制单位邮编	100029
研制负责人	施玉书
研制起止日期
被批准时间	2021-08
复制批编号
复制批准时间
复制批文号	〔〕号
撤销/注销日期
撤销/注销批文号	〔〕号
批文名称	〔2021〕第十一批号（国）市监（26001.1）许受字〔2021〕1193号
批文电子版
生产许可证号	国制标物号
许可证书电子版
定级证书号	[2021]标准物质证字（Certificate No.）3582号
定级证书电子版	https://www.ncrm.org.cn/Repository/2a1851e4-fa1b-4777-bda8-28a4b4a0fa44.pdf