扫描电镜、电子探针和透射电镜在我国科研和产业界具有广泛而重要的应用。这些电子显微分析仪器中配置了大量的X射线能谱仪/波谱仪，标准物质和校准需求迫切。所研制的三种X射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质具有良好的均匀性和稳定性，使用电感耦合等离子体发射光谱仪对标准物质的铜元素含量（质量分数，%）进行了定值。三种标准物质的铜元素含量标准值分别是2.56%、14.64%、49.46%，扩展不确定度分别是0.14%、0.42%、0.98%（k=2）。

三种X射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质，弥补了X射线能谱仪/波谱仪校准用标准物质的不足，并可为我国科研和产业界铜元素含量定量分析提供量值溯源保障和技术支撑。

NIM-RM2163、NIM-RM2164、NIM-RM2165

X射线能谱仪/波谱仪校准用铝铜薄膜铜元素含量标准物质