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国家标准物质资源共享平台

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纳米压入熔融石英标准物质
作者:陶兴付     来源: 中国计量科学研究院      点击次数:61      更新时间:2021-10-09

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该标准物质的特征量是纳米压入模量值和压入硬度值,标准值分别为72.70GPa和9.48GPa,扩展不确定度(U)分别为2.80GPa 和0.48GPa(k=2)。采用纳米压入仪进行定值。在定值测量结果的溯源中,将纳米压入仪测量中的压入载荷溯源到基准砝码;通过可溯源激光干涉仪将纳米压入测量中的压入位移溯源到激光波长国家基准;通过计量型原子力显微镜将纳米压入测量中的压入面积溯源到激光波长国家基准。该标准物质满足了微纳米薄膜和器件材料在纳米压入测量中量值溯源需求,填补了国内空白。

该标准物质可以配合即将颁布的《纳米压入仪国家校准规范》,实现对纳米压入的校准,同时标准物质的压入模量特性值也可用来实现对纳米压入仪针尖面积函数的日常校准。

使用该标准物质时,可参照《GB/T 21838 金属材料硬度和材料参数的仪器化压入实验》和即将颁布的《纳米压入仪国家校准规范》。做为多次使用的标准物质,测量实验中应注意避免在同一位置进行反复测量。使用过程中应注意标准物质表面的洁净,避免污染表面。

NIM-RM4601 纳米压入熔融石英标准物质

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