材料表面化学分析（XPS能量标和薄膜厚度）标准物质国家标准物质资源共享平台

X射线光电子能谱仪（XPS）、俄歇电子能谱仪（AES）和紫外光电子能谱仪（UPS）等经典表面化学分析仪器广泛地用于分析表征材料表面的元素组成和价态等，但分析表征结果的可靠性仍需要标准物质来做质量保证。该系列标准物质包括3种XPS能量标（金、银和铜）标准物质和8种二氧化硅纳米薄膜厚度（10nm~120nm）标准物质，能够用于XPS能量标校准、UPS谱图费米能级位置的确定及表面化学深度剖析时溅射速率校准，同时8种二氧化硅纳米薄膜厚度标准物质也能够用于椭偏仪、X射线反射等厚度测量仪器的校准、分析方法确认与评价以及分析测量质量控制等。