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JJF 1351-2012 扫描探针显微镜校准规范
来源：      点击次数：1302      更新时间：2022-04-20 点击分享

本规范适用于以几何表面形貌为测量对象的扫描探针显微镜的校准。

扫描探针显微镜根据其设计原理不同，校准时需要根据实际情况选择相关的计量特性。对有特殊要求的测量任务，如对溯源要求较高的测量，不在本校准规范的适用范围。

全文链接

http://jjg.spc.org.cn/resmea/standard/JJF%25201351-2012/?

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